WFS行业资讯 | 华懋科技投建光刻材料新建项目；四川美丰高分子材料产业园项目全面投产；EUV干膜光刻胶技术加速研发

作者：admin　发布日期：2022-07-20　浏览次数：0

一、华懋科技拟投建年产8000吨光刻材料新建项目

华懋科技7月19日公告，公司2022年第四次临时董事会会议审议通过了《关于同意东阳华芯电子材料有限公司投资建设“年产8000吨光刻材料新建项目”的议案》。

年产8000吨光刻材料新建项目总投资20亿元人民币，资金来源为东阳华芯自有及自筹资金。东阳凯阳以其在东阳华芯的认缴额2.8亿元进行出资，公司目前无为项目建设提供包括担保、财务资助等其他资金支持的计划。项目建设期为18个月，预计投产期在2023-2024年。

主要产品规划：该项目规划年产8000吨光刻材料，主要包括ArF光刻胶系列（包含单体和树脂合成）、KrF光刻胶系列（包含单体和树脂合成）、半导体厚膜封装胶、半导体用光敏性聚酰亚胺（PSPI）、PCB油墨、三羟甲基丙烷、三丙烯酸酯等配套试剂。（文章来源：华懋科技）

二、四川美丰高分子材料产业园项目正按计划加快推进

近日，四川美丰在投资者互动平台上表示，公司高分子材料产业园项目正按计划加快推进。

据悉，四川美丰高分子材料产业园项目用地面积198,799平方米（约298亩），形成年产3万吨高分子材料产能规模。其中包括1条全PE结构镀氧化物膜材生产线，年生产能力0.5万吨；2条重载膜（FFS膜）生产线，年生产能力0.5万吨；2条聚丙烯流延功能膜材生产线，年生产能力2万吨，同时配套建设科技研发、孵化中心及相关基础设施。

据了解，将整个项目实行分布建设投产运行，整个三期项目投产过后，高分子材料产业园年产值将达到10亿左右，其中产业园一期项目分两批投产，首批国产cpp流延膜生产线已于5月31日正式投产，投产后将形成3万吨高分子材料的产能规模。（文章来源：四川美丰）

三、泛林集团、Entegris和Gelest携手推进EUV干膜光刻胶技术生态系统

近日，泛林集团、Entegris和三菱化学集团旗下公司Gelest于近日宣布了一项战略合作，将为全球半导体制造商提供可靠的前体化学品，用于下一代半导体生产所需的、泛林突破性的极紫外(EUV)干膜光刻胶创新技术。三方将合作对未来几代逻辑和DRAM器件生产所使用的EUV干膜光刻胶技术进行研发，这将有助于从机器学习和人工智能到移动设备所有这些技术的实现。

大的工艺化学品供应链对于EUV干膜光刻胶技术运用到量产至关重要。这一新的长期合作将进一步扩大干膜光刻胶技术不断发展的生态系统，由半导体材料领先者提供双源供应，保障全球所有市场的持续供应。

此外，泛林、Entegris和Gelest还将携手合作，加快开发未来用于高数值孔径（高NA）EUV图形化的高性价比EUV干膜光刻胶解决方案。高NA EUV被广泛认为是未来几十年半导体器件持续微缩和发展所需要的图形化技术。干膜光刻胶能实现高抗刻蚀性及沉积和显影所需的可调厚度比例，以支持高NA EUV降低焦深的要求。（文章来源：TechWeb）

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